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2024年沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司電子束蒸發(fā)設(shè)備采購項目公開招標(biāo)

發(fā)布時間 :2024-08-20 招標(biāo)與采購信息網(wǎng)

所屬分類:招標(biāo)預(yù)告

所在地區(qū):東城區(qū)招標(biāo)

關(guān) 鍵 詞:電子

2024年沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司 正文內(nèi)容

2024年沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司電子束蒸發(fā)設(shè)備采購項目公開招標(biāo)
公告發(fā)布時間:2024年8月20日
1.招標(biāo)條件
本招標(biāo)項目為電子束蒸發(fā)設(shè)備采購項目,招標(biāo)人為沈陽儀表科學(xué)研究院有限公 司,資金來源為國企自籌資金。該項目己具備招標(biāo)條件,現(xiàn)對電子束蒸發(fā)設(shè)備采購 項目進(jìn)行公開招標(biāo)。
2.項目概況與招標(biāo)范圍
2.1招標(biāo)內(nèi)容:電子束蒸發(fā)設(shè)備1套,利用電子束給材料加熱,使材料在高真 空下蒸發(fā)至基片表面,形成薄膜;最高限價220萬元。
2.2主要技術(shù)參數(shù)
2.2.1 1ift-off模式下,6時wafer一次可加工不少于9片;
2.2.2蒸發(fā)厚度均勻性:片內(nèi)5%以內(nèi),片間5%以內(nèi),批次3%以內(nèi)(去邊5mm測量);
2.2.31ift-off和行星模式下的轉(zhuǎn)盤采用磁流體直驅(qū)方式,減少機(jī)械傳動,增加設(shè)備穩(wěn)定性;
**信息由招標(biāo)與采購網(wǎng)發(fā)布**此行內(nèi)容正式會員可見,請登錄中國招標(biāo)與采購網(wǎng)后查看**
2.4交貨地點(diǎn):沈陽市渾南區(qū)渾南東路49一29號。
3.投標(biāo)人資格要求
3.1投標(biāo)人應(yīng)具有獨(dú)立法人資格;
3.2代理商或經(jīng)銷商參與投標(biāo)應(yīng)具有制造商授權(quán);
3.3投標(biāo)人同類產(chǎn)品在客戶端無危險事故記錄;
3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
4.招標(biāo)文件的獲取
4.1發(fā)售時間:2024年8月21日9:00時至2024年8月27日16:00時(北 京時間),節(jié)假日除外。
4.2招標(biāo)文件每套售價500元,售后不退。
5.投標(biāo)文件的遞交
5.1 投標(biāo)文件遞交的截止時間為2024_年9月12日14時30分前現(xiàn)場遞交沈陽市
友情提醒:報名前與下方聯(lián)系人索取投標(biāo)登記表,以及辦理后續(xù)事宜。
聯(lián)系人:李 工 
電 話:17610398736(微信同號)
郵 箱:17610398736@163.com
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